PIEZOVAC PV 101
PIEZOVAC PV 101は、1200〜0.1 mbarの範囲を測定できるピエゾ抵抗型シリコンセンサーを内蔵して動作します。圧力の影響で薄いダイヤフラムが曲がり、その背面に抵抗ブリッジが取り付けられています。曲がると、測定ブリッジのチューニングがずれてしまいます。これは、加えられた圧力の測定値です。
THERMOVAC TM 101
THERMOVAC TM 101は、上部圧力範囲用のピエゾ抵抗圧力センサーと下部圧力範囲用のピラニセンサーを組み合わせたもので、このポータブルゲージによる測定は、15 mbar(11.25 Torr)を超える圧力のガスの種類とは無関係です。1200〜5x 10-4 mbar(900〜3.75 x 10-4トール)の圧力範囲内の圧力を測定できます。
| メーカー | Leybold |
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| 部品番号 | THERMOVAC TM 101 |