FMA 1600 シリーズ
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0～0.5 SCCM、最大0～3000 SLM
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10ms応答時間—すべてのユニットでフィールド調整可能130種類以上のガス校正が可能:空気、Ar、CH4、CO、CO2、エタン、H2、He、N2、N2O、ネオン、O2、プロパン、ブタン、アセチレン、エチレン、その他の圧力、温度、体積および質量流量を同時に表示
